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ENS Cachan - Institut d'Alembert

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La salle blanche

La salle blanche de CachanLes équipements regroupés au sein de la salle blanche de l'Institut d'Alembert permettent la réalisation de circuits de tailles micrométriques et nanométriques pour des applications  en optoélectronique et/ou en microfluidique.

Cette plateforme est un outil au service des thématiques aux interfaces physique, biologie, chimie et sciences de l'ingénieur : les technologies développées s'appuient sur une forte compétence autour des composants à base de polymères.  Plusieurs projets en cours concernent des problématiques de détection et développent des capteurs biologiques ou chimiques.

Couches minces, photolithographie, gravure et métrologie

La plateforme est constituée d'équipements permettant le dépôt de couches minces, la photolithographie, la gravure et la métrologie. Ces outils sont complémentaires du plateau technique de caractérisation des matériaux qui est utilisé en cours de procédés et pour l'analyse finale des réalisations.

Salle blanche

La salle blanche d'une surface de 50 m² et d'une classe de propreté de 100 000 avec un taux d'hygrométrie de 50% et une température de 21°C est un lieu adapté à la réalisation de composants télécoms, optiques ou microfluidiques. L'atmosphère de la salle blanche permet de s'affranchir de tous contaminants extérieurs pouvant interférer dans la réalisation de composants. Les équipements présents en salle blanche permettent la réalisation "top down" de composants.

On peut distinguer trois principales étapes dans la réalisation de composants qui nécessitent des équipements spécifiques tous disponibles au sein de la plateforme :

  • Le dépôt de couches minces par les méthodes de spin-coating, de dip-coating et d'évaporation et pulvérisation (PVD).

  • La structuration de couches minces par photolithographie, gravure humide et gravure sèche, nanoimprint.

  • La métrologie par profilométrie et microscopie.


La plate-forme apporte un soutien technique aux utilisateurs et assure leur formation sur les équipements disponibles en fonction des besoins du projet scientifique.

Projets IDA

Les équipements de la salle blanche contribuent à la réalisation de projets internes ou collaboratifs :

  • Les projets « IDA » : Six projets sont labélisés « IDA » pour la période 2015-2016. Parmi eux, 3 projets requièrent l'utilisation de la salle blanche de façon régulière :

  • FluoChimp (Projet SATIE/PPSM) : Analyse des phénomènes à l'interface électrode/électrolyte en environnement microfluidique pour de la caractérisation diélectrique cellulaire : corrélation entre de l'imagerie impédance-métrique, électrochimique et de fluorescence en mode TIRF.
  • LipoChip (Projet SATIE/LPQM) : Conception d'un microdispositif fluidique pour la génération de liposomes géants.
  • MicPAD (Projet LPQM/LBPA/PPSM): Microfluidic and Photochemical Analysis of the Dynamics of nucleoprotein complexes.

  • Les projets portés par l'ensemble des laboratoires de l'ENS Cachan, pour lesquels sont développées des structures utilisant :

  • des micro-lasers 2D et 3D
  • des nanocristaux
  • des capteurs optofluidiques en polymères (micro-résonateurs)

  • Les projets collaboratifs impliquant des partenaires publics/privés extérieurs pour la réalisation de projets de recherche ou d'étapes de procédés technologiques dans le cadre de contrats industriels ou publics (IEF, LAC, IGR , EDF, EADS, LNE, Centrale Supélec, Université Paris 13 Villetaneuse)



 




Localisation

L'ensemble de ces équipements sont regroupés dans la salle Blanche de Cachan située au rez-de-chaussée bas du bâtiment d'Alembert.

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