Grâce à des appareils comme le Microscope à Force Atomique (AFM), le profilomètre optique ou bien le Microscope Electronique à Balayage (MEB), on peut déterminer la taille et la forme de particules micrométriques ou nanométriques. Dans le cas d'un dépôt solide, par sublimation par exemple, ces appareils nous permettent d'accéder à la topographie de la surface de l'échantillon. On a alors des informations sur la planéité ou la rugosité de l'échantillon. Le MEB permet de plus de faire une cartographie X des éléments de manière simultanée.